دانلود کتاب Microlithography: Science and Technology

ترجمه فارسی توضیحات (ترجمه ماشینی)

میکرولیتوگرافی: علم و فناوری

این نسخه جدید از پرفروش‌ترین میکرولیتوگرافی: علم و فناوری، درمان متعادلی از ملاحظات نظری و عملیاتی، از مفاهیم ابتدایی تا جنبه‌های پیشرفته میکرولیتوگرافی زیر میکرونی مدرن ارائه می‌کند. هر فصل منعکس کننده تحقیقات و شیوه های فعلی از آزمایشگاه های دانشگاهی و صنعتی پیشرو جهان است که توسط یک پانل ستاره ای از کارشناسان بین المللی به تفصیل شرح داده شده است. جدید در نسخه دوم علاوه بر اطلاعات به روز شده در مورد مواد موجود، این نسخه جدید شامل پوشش فناوری هایی است که در دهه گذشته از زمان انتشار اولین نسخه توسعه یافته است، از جمله – لیتوگرافی غوطه ور · لیتوگرافی 157 نانومتری · لیتوگرافی پروجکشن الکترونی (EPL) · اشعه ماوراء بنفش شدید (EUV) لیتوگرافی · لیتوگرافی چاپی · فوتوریست ها برای 193 نانومتر و لیتوگرافی غوطه وری · میکرولیتوگرافی پراکندگی سنجی: علم و فناوری، ویرایش دوم به طور معتبر فیزیک، شیمی، اپتیک، ابزارها و تکنیک های اندازه شناسی، مقاومت در برابر پردازش و مواد و آخرین روش های ساخت را پوشش می دهد. نسل های میکرولیتوگرافی مانند لیتوگرافی غوطه وری و لیتوگرافی فرابنفش شدید (EUV). همچنین به سیستم‌ها و فناوری‌های احتمالی آینده نگاه می‌کند که نسل‌های بعدی را به ثمر می‌رسانند. این کتاب که مملو از تصاویر، معادلات، جداول و منابع صرفه‌جویی در زمان به جدیدترین ادبیات است، جامع‌ترین و قابل اعتمادترین منبع برای همه افراد، از دانش‌آموز گرفته تا حرفه‌ای باتجربه است که به دنبال دستیابی به فرآیندهای میکرولیتوگرافی قوی، دقیق و مقرون به صرفه هستند. و سیستم ها

Microlithography: Science and Technology

This new edition of the bestselling Microlithography: Science and Technology provides a balanced treatment of theoretical and operational considerations, from elementary concepts to advanced aspects of modern submicron microlithography. Each chapter reflects the current research and practices from the world’s leading academic and industrial laboratories detailed by a stellar panel of international experts. New in the Second Edition In addition to updated information on existing material, this new edition features coverage of technologies developed over the last decade since the first edition appeared, including-· Immersion Lithography· 157nm Lithography· Electron Projection Lithography (EPL)· Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography· Imprint Lithography· Photoresists for 193nm and Immersion Lithography· Scatterometry Microlithography: Science and Technology, Second Edition authoritatively covers the physics, chemistry, optics, metrology tools and techniques, resist processing and materials, and fabrication methods involved in the latest generations of microlithography such as immersion lithography and extreme ultraviolet (EUV) lithography. It also looks ahead to the possible future systems and technologies that will bring the next generations to fruition. Loaded with illustrations, equations, tables, and time-saving references to the most current literature, this book is the most comprehensive and reliable source for anyone, from student to seasoned professional, looking to achieve robust, accurate, and cost-effective microlithography processes and systems.